国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“静电吸盘及半导体制造设备”的专利，公开号CN122341145A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种静电吸盘及半导体制造设备。本申请的静电吸盘包括基座、电极层和介电层，基座包括相反设置的第一端面和第二端面，电极层设于第一端面，电极层包括正电极和负电极，正电极和负电极分别用于连接电源的正极或负极，正电极包括沿第一方向间隔设置的多个正极区，负电极包括沿第一方向间隔设置的多个负极区，多个正极区与多个负极区沿第一方向依次交替设置，第一方向与第一端面相平行，介电层设于电极层背离基座的一侧，并覆盖正电极和负电极。根据本申请的静电吸盘，能够对不同尺寸的晶圆进行吸附，同时，能够减少对晶圆的损坏，且易于对晶圆进行操作后与晶圆相分离。
天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事互联网和相关服务为主的企业。企业注册资本27466.9348万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目128次，财产线索方面有商标信息41条，专利信息675条，此外企业还拥有行政许可95个。
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